สาขาอุตสาหกรรมครึ่งขนส่งพัฒนาการแปรรูปแบบชื้นสําหรับการผลิตชิป

ในโลกจิปขนาดเล็ก องค์ประกอบอิเล็กทรอนิกส์จํานวนไม่ถ้วนทํางานร่วมกันเหมือนเกียร์ความแม่นยํา การสร้าง "เกียร์" เหล่านี้ขึ้นอยู่กับเทคนิคการผลิตพิเศษทําหน้าที่ทั้ง "คนทําความสะอาด" และ "นักปั้น""กระบวนการนี้ใช้สารเคมีเหลว เพื่อดําเนินการที่สําคัญ เช่น การทําความสะอาด การถัก และการเคลือบบนแผ่นซิลิคอน ซึ่งในที่สุดผลิตอุปกรณ์ฉลาดที่เราใช้ในทุกวัน

การแปรรูปแบบฝนมีบทบาทสําคัญในการผลิตครึ่งตัวนํา โดยมีการใช้ตั้งแต่การกระจายวัสดุและการทําความสะอาดและการสร้างสลักซิลิคอนตัวอย่างเช่น, ในการแปรรูปแผ่นครึ่งตัวนํา, ผู้ผลิตมักจะพึ่งพาอุปกรณ์กระบวนการแบบชื้น เช่น ถังทําความสะอาด, ถังล้าง, ระบบส่งสารเคมี, และหมวกควัน.เมื่อเทคโนโลยีก้าวหน้า, ระบบเหล่านี้ยังคงดีขึ้นในความแม่นยําและประสิทธิภาพ

เช่นที่ชื่อชี้ให้เห็น อุปกรณ์กระบวนการแบบเปียก จัดการสารเคมีเหลวระหว่างการผลิตครึ่งประสาท ระบบเหล่านี้ใช้สารละลายและกรดในการดําเนินการ เช่น การเคลือบไฟฟ้าการทําความสะอาดส่วนประกอบความสําคัญของพวกเขาอยู่ที่ความสามารถในการควบคุมความร้อน, การปฏิกิริยาทางเคมีและปัจจัยเวลาอย่างแม่นยํา

ในความเป็นจริงแล้ว อุปกรณ์กระบวนการแบบชื้นทํางานเหมือน "ห้องทดลองเคมี" ที่มีความซับซ้อนทําให้สามารถใช้งานได้อย่างเฉพาะเจาะจงบนแผ่นความแม่นยํานี้มีความสําคัญในการรับประกันคุณภาพชิป

ขึ้นอยู่กับความต้องการและงบประมาณ อุปกรณ์กระบวนการแบบชื้นมีหลายชนิด แต่ละชนิดมีข้อดีและการใช้งานที่แตกต่างกัน:

• ระบบอัตโนมัติเต็ม: การเลือกประสิทธิภาพ
  ระบบ เหล่า นี้ ถูก ควบคุม โดย เครื่อง ปฏิบัติ ปฏิบัติ ปฏิบัติ ได้ อย่าง อัตโนมัติ และ มี ประสิทธิภาพ โดย ปกติ จะ มี เครื่อง ล้าง ผ้า, ถัง ทําความ สะอาด, และ เครื่อง ล้าง ผ้า.เหมาะสําหรับการผลิตขนาดใหญ่ พวกเขาเพิ่มประสิทธิภาพในขณะที่ลดค่าแรงงาน
• ระบบครึ่งอัตโนมัติ: การสมดุลค่าใช้จ่ายและการควบคุม
  การรวมหน้าที่มือและระบบอัตโนมัติ ระบบเหล่านี้ให้บริการการควบคุมกระบวนการที่ดีขึ้นในขณะที่ยังคงมีประหยัดเหมาะสําหรับการผลิตปริมาณกลางหรือกระบวนการเฉพาะเจาะจงที่ต้องการการลงมือของมนุษย์.
• ระบบมือ: ตัวเลือกที่ไม่ใช้จ่ายมาก
  สําหรับการผลิตปริมาณน้อยหรือธุรกิจขนาดเล็กที่มองหาการแก้ไขทางเศรษฐกิจ อุปกรณ์มือถือเป็นจุดเข้าที่เข้าถึงระบบเหล่านี้มีราคาถูก และดูแลง่าย.
• อุปกรณ์เคลือบไฟฟ้า: ใช้โลหะ "เคลือบ"
  ระบบเหล่านี้เป็นพิเศษสําหรับการเคลือบไฟฟ้าและไฟฟ้า ไม่เคลือบไฟฟ้าหรือความทนทาน เป็นขั้นตอนสําคัญในการผลิตชิปที่มีประสิทธิภาพสูง.
• อุปกรณ์ ที่ รับมือ เคมีเคมี: "ผู้ดูแล ความ ปลอดภัย"
  หน่วย เช่น ระบบกระจายสารเคมี (CDU) ส่งปริมาณสารเคมีที่แม่นยํา หรือช่วยในการกําจัดที่ปลอดภัย, รับประกันความปลอดภัยด้านสิ่งแวดล้อมและการดําเนินงาน
• อุปกรณ์ ทํา ความ สะอาด: "ผู้ คุ้มครอง ความ สะอาด"
  ระบบเหล่านี้รักษาความสะอาดด้วยการทําความสะอาดถังอย่างมีประสิทธิภาพ ป้องกันสารปนเปื้อนขนาดเล็กจากการเสี่ยงความสมบูรณ์แบบของชิป

อุปกรณ์กระบวนการแบบเปียกต้องทนต่อสภาพแวดล้อมทางเคมีที่รุนแรง การเลือกวัสดุจะส่งผลกระทบตรงต่อความทนทาน, ความต้านทานต่อการกัดสลาย และความปลอดภัย

• โพลีวินิลเคลอรีด (PVC-C) ที่ได้รับการรับรอง FM:ผสมผสานความทนทานต่อสารเคมีกับความทนทานสําหรับการใช้งานที่หลากหลาย
• สแตนเลส:ให้ความทนทานต่อการกัดกรองและการกระแทกที่แข็งแกร่งสําหรับการใช้งานหนัก
• โพลีเอธิลีน (PE):พลาสติกหลากหลาย (HDPE, LDPE, UHMWPE) มีความสมดุลระหว่างความทนทานต่อสารเคมี, ความแข็งแรงต่อการกระแทก และความเป็นไปตาม FDA
• โพลีโปรไพเลน (PP):ทนต่อความร้อน และมีความหนาแน่นต่ํา เทอร์โมพลาสติก เหมาะสําหรับอุณหภูมิสูงหรือสถานที่ที่เกรี้ยว
• โพลีเทตราฟลูออธิเลน (PTFE):"เทฟลอน®" ที่ไม่ใช้สารเคมีได้ดีเยี่ยม ในการใช้งานที่มีความบริสุทธิ์ที่สําคัญ ด้วยความมั่นคงทางความร้อนที่พิเศษ
• โพลีไวนิลดีนฟลอริด (PVDF):ฟลูโรโพลิเมอร์ที่ไม่ปฏิกิริยาอีกอย่าง เหมาะสําหรับกระบวนการความบริสุทธิ์สูงที่ต้องการความทนทานต่อความร้อนและสารเคมี
• โพลีไวนิลเคลอรีด (PVC):ผืนยาวของเครื่องยนต์

การเลือกอุปกรณ์กระบวนการแบบน้ําที่เหมาะสมรวมถึงการพิจารณา:

• ปริมาณการผลิตและรายละเอียดสินค้า
• ความต้องการทางเทคนิคสําหรับวัสดุและฟังก์ชัน
• ความจํากัดในงบประมาณ
• ความเชี่ยวชาญและชื่อเสียงของผู้จําหน่าย

โดยการประเมินปัจจัยเหล่านี้ ผู้ผลิตสามารถปรับปรุงประสิทธิภาพ ลดต้นทุน และเพิ่มคุณภาพสินค้า

ในฐานะเป็นเสาหลักที่จําเป็นในการผลิตชิป การแปรรูปแบบชื้นพึ่งพาอุปกรณ์เฉพาะเพื่อบรรลุความละเอียดในขนาดจุลินทรีย์และเกณฑ์การคัดเลือกเปิด "ความลับที่ชื้น" ของการผลิตครึ่งตัวนําการขับเคลื่อนการก้าวหน้าของอุตสาหกรรม